Ústav materiálov a mechaniky strojov
Slovenská akadémia vied
Kontakty
EN
Toggle navigation
Nové materiály
Ľahké materiály
Al kompozit s bórovými vláknami
Extrudovaný Al/SiC kompozit
Metal foam in space application
Carbon fiber reinforced magnesium composite
Vysokoteplotné materiály
Kompozity so silicidovou matricou
Kompozity s NiAl matricou
Pokročilé technológie
Výroba kompozitiov s kovovou matricou
Infiltrácia roztaveného kovu pod tlakom
Difúzne spájanie vo vákuu
Techniky povlakovania
Povlakovanie vlákien
Fyzikálna depozícia z pár
Základný výskum
Doktorandské štúdium
Služby
Hodnotenie štruktúry materiálov
Chemická analýza zloženia vrátane analýzy obsahu plynov
Fázová analýza
Mikroštruktúrna analýza
Analýza defektov (vmestky, prímesy, póry, trhliny)
Deštruktívne a nedeštruktívne skúšanie materiálov
Meranie fyzikálnych vlastností
Tepelná analýza
Odlievanie a tepelné spracovanie
Simulácie a modelovanie
Napäťová simulácia
Simulation of interaction trajectories between
incident electron beam and specimen
Patenty
Výskumné údaje
Projekty
Publikácie
Vedecké časopisy
Ústav
Ponuky práce
Poslanie a vízia
Úspešné príbehy
Ďalšie generácie
História
Tescan VEGA3 XMU- Scanning electron microscope
Miesto:
INOVAL - Inovačné centrum
, Ladomerská Vieska
Main features
high resolution observation combined with high analytical capabilities
an extra large analytical chamber with a full 5-axis motorized stage
full operating vacuum reached within a few minutes
investigation of non-conductive samples
5 electron optics working modes: resolution, depth, field, wide field, channeling
LVSTD (up to 500 Pa) - original SE detector for low vacuum operations
energy dispersive X-ray analyzer (EDS) Oxford Instruments X-max 50 mm
2
Basic technical parameters
tungsten heated cathode
resolution in high vacuum mode (SE): 3 nm at 30 kV, 8 nm at 3 kV
resolution in low vacuum mode (BSE, LVSTD): 3.5 nm at 30 kV
magnification 1x – 1,000,000x
maximum field of view: 24 mm at WD 30 mm
accelerating voltage: 200 V to 30 kV
probe current: 1 pA to 2μA
pumping time after specimen exchange typically under 3.5 minutes
rotation: 360°continuous
tilt: -30° to +90°